隨著生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，電子工業(yè)對環(huán)境及其配套工程的要求越來越嚴(yán)格，其產(chǎn)品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環(huán)境的潔凈度，因此對潔凈技術(shù)的要求也越來越高。

     空調(diào)系統(tǒng)作為電子廠房中重要環(huán)節(jié)，不僅需要穩(wěn)定控制室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度等，還需控制電子廠凈化車間內(nèi)的排風(fēng)和換氣，保證24小時不間斷運行穩(wěn)定可靠，是電子廠房實現(xiàn)潔凈環(huán)境要求的重要保障。

     多年來，歐博針對不同的產(chǎn)品，不同的工廠規(guī)模，不同的工藝區(qū)域，推出了多元化的空調(diào)解決方案。

    為保證電子、光電子產(chǎn)品的質(zhì)量和高成品率，微電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度、溫度、濕度、靜電、壓差等方面要求極高。微電子行業(yè)潔凈室面積大，潔凈度特別高，環(huán)境控制要求高，而且工藝更新快。集成電路、平板顯示器工廠生產(chǎn)車間龐大，空調(diào)通風(fēng)量往往幾百萬甚至上千萬m3/h，能耗極大。氣載化學(xué)污染物對集成電路生產(chǎn)的影響，比空氣中懸浮物要廣泛和復(fù)雜的多。因此微電子行業(yè)的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，不光要去除顆粒污染物，還要去除化學(xué)污染物。

     MAU+DC+FFU

     由于微電子凈化空調(diào)的高能耗，新建大規(guī)模微電子廠房，如集成電路（IC）、液晶顯示器（LCD）及薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）等潔凈廠房通常采用更加節(jié)能的MAU+DC+FFU系統(tǒng)方案；新風(fēng)機組（MAU）負(fù)責(zé)去除新風(fēng)中的大顆粒及化學(xué)污染物，同時承擔(dān)系統(tǒng)內(nèi)全部濕負(fù)荷；干盤管（DC）不負(fù)責(zé)除濕，僅承擔(dān)室內(nèi)的部分顯熱負(fù)荷。

特點：

內(nèi)部平整，適合凈化；

高強度箱體，安全運行不變形；

雙極噴淋設(shè)計，去除部分化學(xué)污染物，減輕化學(xué)過濾器負(fù)荷，同時實現(xiàn)調(diào)溫、調(diào)濕的作用；

特點：

機械式脹管，翅片和銅管連接緊密，高效開窗式肋片，換熱效果好；

針對中溫冷水（>14℃）專業(yè)設(shè)計換熱回路；

肋片間距大，空氣壓降小，不影響FFU性能；

印刷電路板（PCB）的生產(chǎn)、電子產(chǎn)品的裝配等凈化車間，通常規(guī)模相對較小，凈化空調(diào)可采用MAU+DC+FFU系統(tǒng)，也可采用集中式或集中式+分散式結(jié)合使用的空調(diào)系統(tǒng)。

型號系列：ZKW

風(fēng)量范圍：2000-100000CMH

特點：

內(nèi)部平整，適合凈化；

內(nèi)置框架，高強度箱體，安全運行不變形；

型號系列：SL-LG

冷量范圍：420~2315KW

特點：新一代高性能半封閉雙螺桿壓縮機，高效節(jié)能，穩(wěn)定可靠；

型號系列：FLM

冷量范圍：66-1040KW

特點：

模塊化組合，多級能量調(diào)節(jié)，控溫更精確；

后備運轉(zhuǎn)功能，單個系統(tǒng)故障不影響整機使用；

獨立化霜技術(shù)，除霜時制熱不停機；

名牌壓縮機，高效殼管式換熱器，性能穩(wěn)定，持續(xù)穩(wěn)定為凈化空調(diào)提供高品位冷水。

型號系列：FL

風(fēng)量范圍：2500-50000CMH

特點：

系統(tǒng)簡單，自帶獨立冷源，響應(yīng)迅速；

獨立式系統(tǒng)，安裝靈活、維護簡單；

集成智能化控制，一鍵開關(guān)機；

標(biāo)配Rs485通訊接口，方便集中控制。

電子凈化車間由于維護結(jié)構(gòu)保溫性能好，功能分區(qū)多，車間內(nèi)設(shè)備發(fā)熱量大，通常處于廠房中部的房間，即使在春秋季甚至冬季，也需要制冷降溫。

生產(chǎn)環(huán)境系統(tǒng)的自動化控制水平將直接影響生產(chǎn)環(huán)境的品質(zhì)及狀態(tài)參數(shù)。保證控制系統(tǒng)的可靠運行顯得尤為重要。歐博可根據(jù)用戶不同的空調(diào)系統(tǒng)，分別提供不同的成套控制方案。